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IL 系列气体质量流量计及控制器对于低流量要求全不锈钢浸湿材场合是一个理想的选择。 它提供低交差污染及快捷的净化周期。 IL 系列是紧凑，重量轻及比其它同类产品要便宜。 IL系列运用了一个唯独的同轴的调节阀，使得所需要的部件更少，提供一个更直接的流量通道。
应用： 
OEM
实验室
医疗
过程控制
制药上 
泄露检测
研发行业
气体混和

产品特点： 
热传感器
1%精度带有100：1量程比 
 一体阀，显示&设定点
线性输出(0-5 VDC, 4-20 mA)
单端电源 
316不锈钢流体可选
NIST 可追踪式校准
低成本

材质：316SS（PH17-4）Viton 
输出信号：0-5V DC 线性或4-20mA线性 
供电：24V DC标准，可选15V  115VAC，220VAC@500ma
精度：+/-1%FS（包括线性）
重复性：+/- 0.15% FS 或更好
电气连接：9针 Sub"D"
输入信号：整体 or 0-5VDC
控制阀：电磁阀 NC
量程：0-10SCCM，0-20SLPM
最大耐压：500PSIG
响应时间：1秒
温度系数：0.05%满量程/1℃或更好
压力系数：0.01%满量程/PSIG或更好