在线测量
AWM5000 系列为文丘里流量管形外壳，可以测量最高至20 升/分钟，最大压降2.25”水的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。坚固，通用的封装形式坚固，塑料的封装能承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可在最小的模具花费下根据实际更改，插入式AMP 连接器提供十分可靠的连接。内置的信号处理电路每个AWM5000系列产品都包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。
产品特点
● 各种流量接口可选
● 文丘里管设计
● 远程安装
● 激光校整CO2，N2 氩气的标定

	AWM5101	AWM5102	AWM5103	AWM5104
流量范围	0-5 SLPM	0-10 SLPM	0- 15 SLPM	0-20 SLPM
后缀- 标定气体	VA- 氩气（Ar）          VC- 二氧化碳（CO2）             VN- 氮气（N2）

	Min	Typ	Max
推荐供电电源VDC	8.0	10±0.01	15
功耗（mW）			100
反应时间（mA			60
零点输出VDC	0.95	1.00	1.05
零点漂移，VDC -20~70˚C	---	±0.050	±0.200
最大共模压力psi			50
温度范围	-20~+70˚C
冲击指标	100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
输出@ 较整点	5VDC@ 满量程流量
满量程输出漂移 +20˚~-25˚C +20˚~70˚C	后缀VA 或VN ± 7.0% 读数，VC ± 10.0% 读数
线性误差	±3.0% 读数
迟滞& 重复性	±0.5% 读数 AMP（103956-
连接器（4pin receptacle)	AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）
泄漏 max	0.1psi/min,在静态中