矽翔微机电系统有限公司专门为医疗设备应用而设计、制造的MEMS系列流量传感器产品，具有双向、大流量、直接测量等功能。全密封设计可用液体医用消毒液进行浸泡消毒，适用于呼吸机、麻醉设备、肺活量仪、肺功能仪、氧气机及其他气体测量相关设备。
FS3000系列   专门为肺活量仪及肺功能仪适用。传感器可测量最大流量为1200 SLPM。传感器的响应速度比现有所有应用于肺功能仪的其它技术都要快很多。这使得通过精确监测呼吸流量变化，从而准确检验、诊断人体呼吸系统的疾病成为可能。 

	FS3022UN	FS3022CL	单位
量程	0～800，1200	0～800，1200	SLPM
工作电压	8～18	8～18	V
输出方式	非线性，模拟	线性，RS232/模拟
满量程输出	4.5±0.3	4.5	V
精度	±3.0	±1.5	％读数
重复性	±1.5	±0.75	％读数
零点输出	0.5±0.05	0	V
传感器响应时间	25	50	msec
功耗	50	50	mW
工作温度	­20～70	­20～70	℃
校准气体	空气	空气
连线	4芯屏蔽，PS/2	6芯屏蔽，PS/2
机械接口	22mm医用或根据用户要求定制
*SLPM=标准升/分钟。（1标准升=空气在20℃，101.325kPa状态下1升的体积）